7720-83-4/四碘化鈦的應用

背景及概述^[1]

四碘化鈦紅色立方晶體。相對密度4.3，熔點150℃，沸點377.1℃。易吸潮，在空氣中發煙。溶于冷水，遇熱水分解。能與氨、吡啶、乙酸乙酯生成2∶1的加合物。與過量氨發生氨解作用，生成氨基堿式碘化鈦。微溶于石油醚，適中地溶于苯中，較易溶于氯代烴和二硫化碳中。在高溫下可逆地同金屬鈦反應，生成二碘化鈦。同二碘化鈦反應，生成三碘化鈦。由金屬鈦與碘蒸氣反應，或碳化鈦同碘反應，或四氯化鈦與氫和碘混和物反應均制得。

結構

應用^[2-3]

四碘化鈦可用于金屬鈦的精煉等。其應用舉例如下：

1）用于使用原子層沉積的Ti膜來調整TiOx化學計量的過程。

方法涉及如下在室中的襯底上沉積高純且共形的鈦：(i)將襯底暴露至四碘化鈦；(ii)清洗室；(iii)將襯底暴露至等離子體；(iv)清洗室；(v)重復(i)至(iv)，并處理襯底上沉積的鈦來形成亞化學計量的氧化鈦。氧化鈦還可以在襯底上沉積鈦之前來沉積。處理包含將襯底暴露至氧源和/或對襯底退火處理。

2）使用四碘化鈦前體低溫沉積純鈦薄膜。

一個方面包括通過在低于約450℃的溫度下使用原子層沉積循環在半導體襯底上沉積鈦，其中每個循環包括：(i)將所述襯底暴露于四碘化鈦，(ii)吹掃所述室，(iii)將所述襯底暴露于點燃的等離子體，以及(iv)吹掃所述室；以及重復(i)至(iv)直至在所述襯底上沉積了期望厚度的鈦。每個循環可沉積具有厚度為約的鈦。

主要參考資料

[1] 無機化合物辭典

[2] CN201510514930.3使用四碘化鈦前體低溫沉積純鈦薄膜的方法和裝置

[3] CN201510512616.1使用原子層沉積的Ti膜來調整TiOx化學計量的方法