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409-21-2 / 碳化硅(SiC)緣何成為第三代半導體最重要的材料?

一、碳化硅的前世今生

碳化硅由于化學性能穩定、導熱系數高、熱膨脹系數小、耐磨性能好,除作磨料用外,還有很多其他用途,例如:以特殊工藝把碳化硅粉末涂布于水輪機葉輪或汽缸體的內壁,可提高其耐磨性而延長使用壽命1~2倍;用以制成的高級耐火材料,耐熱震、體積小、重量輕而強度高,節能效果好。低品級碳化硅(含SiC約85%)是極好的脫氧劑,用它可加快煉鋼速度,并便于控制化學成分,提高鋼的質量。此外,碳化硅還大量用于制作電熱元件硅碳棒。

碳化硅的硬度很大,莫氏硬度為9.5級,僅次于世界上最硬的金剛石(10級),具有優良的導熱性能,是一種半導體,高溫時能抗氧化。

碳化硅(SiC)緣何成為第三代半導體最重要的材料?

二、碳化硅器件的優勢特性

碳化硅(SiC)是目前發展最成熟的寬禁帶半導體材料,世界各國對SiC的研究非常重視,紛紛投入大量的人力物力積極發展,美國、歐洲、日本等不僅從國家層面上制定了相應的研究規劃,而且一些國際電子業巨頭也都投入巨資發展碳化硅半導體器件。

與普通硅相比,采用碳化硅的元器件有如下特性:

1、高壓特性

碳化硅器件是同等硅器件耐壓的10倍

碳化硅肖特基管耐壓可達2400V。

碳化硅場效應管耐壓可達數萬伏,且通態電阻并不很大。

2、高頻特性

3、高溫特性

在Si材料已經接近理論性能極限的今天,SiC功率器件因其高耐壓、低損耗、高效率等特性,一直被視為“理想器件”而備受期待。然而,相對于以往的Si材質器件,SiC功率器件在性能與成本間的平衡以及其對高工藝的需求,將成為SiC功率器件能否真正普及的關鍵。

目前,低功耗的碳化硅器件已經從實驗室進入了實用器件生產階段。目前碳化硅圓片的價格還較高,其缺陷也多。

4、碳化硅MOS的優勢

硅IGBT在一般情況下只能工作在20kHz以下的頻率。由于受到材料的限制,高壓高頻的硅器件無法實現。碳化硅MOSFET不僅適合于從600V到10kV的廣泛電壓范圍,同時具備單極型器件的卓越開關性能。相比于硅IGBT,碳化硅MOSFET在開關電路中不存在電流拖尾的情況具有更低的開關損耗和更高的工作頻率。
20kHz的碳化硅MOSFET模塊的損耗可以比3kHz的硅IGBT模塊低一半,50A的碳化硅模塊就可以替換150A的硅模塊。顯示了碳化硅MOSFET在工作頻率和效率上的巨大優勢。

碳化硅MOSFET寄生體二極管具有極小的反向恢復時間trr和反向恢復電荷Qrr。如圖所示,同一額定電流900V的器件,碳化硅MOSFET寄生二極管反向電荷只有同等電壓規格硅基MOSFET的5%。對于橋式電路來說(特別當LLC變換器工作在高于諧振頻率的時候),這個指標非常關鍵,它可以減小死區時間以及體二極管的反向恢復帶來的損耗和噪音,便于提高開關工作頻率。

三、人們是如何評價碳化硅的?

幾乎凡能讀到的文章都是這樣介紹碳化硅:

碳化硅的能帶間隔為硅的2.8倍(寬禁帶),達到3.09電子伏特。其絕緣擊穿場強為硅的5.3倍,高達3.2MV/cm.其導熱率是硅的3.3倍,為49w/cm.k。由碳化硅制成的肖特基二極管及MOS場效應晶體管,與相同耐壓的硅器件相比,其漂移電阻區的厚度薄了一個數量級。其雜質濃度可為硅的2個數量級。由此,碳化硅器件的單位面積的阻抗僅為硅器件的100分之一。它的漂移電阻幾乎就等于器件的全部電阻。因而碳化硅器件的發熱量極低。這有助于減少傳導和開關損耗,工作頻率一般也要比硅器件高10倍以上。此外,碳化硅半導體還有的固有的強抗輻射能力。

近年利用碳化硅材料制作的IGBT(絕緣柵雙極晶體管)等功率器件,已可采用少子注入等工藝,使其通態阻抗減為通常硅器件的十分之一。再加上碳化硅器件本身發熱量小,因而碳化硅器件的導熱性能極優。還有,碳化硅功率器件可在400℃的高溫下正常工作。其可利用體積微小的器件控制很大的電流。工作電壓也高得多。

碳化硅(SiC)緣何成為第三代半導體最重要的材料?

四、第三代半導體材料

1、碳化硅單晶材料

在寬禁帶半導體材料領域就技術成熟度而言,碳化硅是這族材料中最高的,是寬禁帶半導體的核心。SiC材料是IV-IV族半導體化合物,具有寬禁帶(Eg:3.2eV)、高擊穿電場(4×106V/cm)、高熱導率(4.9W/cm.k)等特點。從結構上講,SiC材料屬硅碳原子對密排結構,既可以看成硅原子密排,碳原子占其四面體空位;又可看成碳原子密排,硅占碳的四面體空位。對于碳化硅密排結構,由單向密排方式的不同產生各種不同的晶型,業已發現約200種。目前最常見應用最廣泛的是4H和6H晶型。4H-SiC特別適用于微電子領域,用于制備高頻、高溫、大功率器件;6H-SiC特別適用于光電子領域,實現全彩顯示。

隨著SiC技術的發展,其電子器件和電路將為系統解決上述挑戰奠定堅實基礎。因此SiC材料的發展將直接影響寬禁帶技術的發展。

SiC器件和電路具有超強的性能和廣闊的應用前景,因此一直受業界高度重視,基本形成了美國、歐洲、日本三足鼎立的局面。目前,國際上實現碳化硅單晶拋光片商品化的公司主要有美國的Cree公司、Bandgap公司、DowDcorning公司、II-VI公司、Instrinsic公司;日本的Nippon公司、Sixon公司;芬蘭的Okmetic公司;德國的SiCrystal公司,等。其中Cree公司和SiCrystal公司的市場占有率超過85%。在所有的碳化硅制備廠商中以美國Cree公司最強,其碳化硅單晶材料的技術水平可代表了國際水平,專家預測在未來的幾年里Cree公司還將在碳化硅襯底市場上獨占鰲頭。

2、氮化鎵材料

GaN材料是1928年由Johason等人合成的一種Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體材料,在大氣壓力下,GaN晶體一般呈六方纖鋅礦結構,它在一個元胞中有4個原子,原子體積大約為GaAs的1/2;其化學性質穩定,常溫下不溶于水、酸和堿,而在熱的堿溶液中以非常緩慢的速度溶解;在HCl或H2下高溫中呈現不穩定特性,而在N2下最為穩定。GaN材料具有良好的電學特性,寬帶隙(3.39eV)、高擊穿電壓(3×106V/cm)、高電子遷移率(室溫1000cm2/V·s)、高異質結面電荷密度(1×1013cm-2)等,因而被認為是研究短波長光電子器件以及高溫高頻大功率器件的最優選材料,相對于硅、砷化鎵、鍺甚至碳化硅器件,GaN器件可以在更高頻率、更高功率、更高溫度的情況下工作。另外,氮化鎵器件可以在1~110GHz范圍的高頻波段應用,這覆蓋了移動通信、無線網絡、點到點和點到多點微波通信、雷達應用等波段。

近年來,以GaN為代表的Ⅲ族氮化物因在光電子領域和微波器件方面的應用前景而受到廣泛的關注。作為一種具有獨特光電屬性的半導體材料,GaN的應用可以分為兩個部分:憑借GaN半導體材料在高溫高頻、大功率工作條件下的出色性能可取代部分硅和其它化合物半導體材料;憑借GaN半導體材料寬禁帶、激發藍光的獨特性質開發新的光電應用產品。目前GaN光電器件和電子器件在光學存儲、激光打印、高亮度LED以及無線基站等應用領域具有明顯的競爭優勢,其中高亮度LED、藍光激光器和功率晶體管是當前器件制造領域最為感興趣和關注的。

3、氮化鋁材料

AlN材料是Ⅲ族氮化物,具有0.7~3.4eV的直接帶隙,可以廣泛應用于光電子領域。與砷化鎵等材料相比,覆蓋的光譜帶寬更大,尤其適合從深紫外到藍光方面的應用,同時Ⅲ族氮化物具有化學穩定性好、熱傳導性能優良、擊穿電壓高、介電常數低等優點,使得Ⅲ族氮化物器件相對于硅、砷化鎵、鍺甚至碳化硅器件,可以在更高頻率、更高功率、更高溫度和惡劣環境下工作,是最具發展前景的一類半導體材料。

AlN材料具有寬禁帶(6.2eV),高熱導率(3.3W/cm·K),且與AlGaN層晶格匹配、熱膨脹系數匹配都更好,所以AlN是制作先進高功率發光器件(LED,LD)、紫外探測器以及高功率高頻電子器件的理想襯底材料。

4、金剛石

金剛石是碳結晶為立方晶體結構的一種材料。在這種結構中,每個碳原子以“強有力”的剛性化學鍵與相鄰的4個碳原子相連并組成一個四面體。金剛石晶體中,碳原子半徑小,因而其單位體積鍵能很大,使它比其他材料硬度都高,是已知材料中硬度最高(維氏硬度可達10400kg/mm2)。

另外,金剛石材料還具有禁帶寬度大(5.5eV);熱導率高,最高達120W/cm·K(-190℃),一般可達20W/cm.K(20℃);傳聲速度最高,介電常數小,介電強度高等特點。金剛石集力學、電學、熱學、聲學、光學、耐蝕等優異性能于一身,是目前最有發展前途的半導體材料。依據金剛石優良的特性,應用十分廣泛,除傳統的用于工具材料外,還可用于微電子、光電子、聲學、傳感等電子器件領域。

5、氧化鋅

氧化鋅(ZnO)是Ⅱ-Ⅵ族纖鋅礦結構的半導體材料,禁帶寬度為3.37eV;另外,其激子束縛能(60meV)比GaN(24meV)、ZnS(39meV)等材料高很多,如此高的激子束縛能使它在室溫下穩定,不易被激發(室溫下熱離化能為26meV),降低了室溫下的激射閾值,提高了ZnO材料的激發效率。基于這些特點,ZnO材料既是一種寬禁帶半導體,又是一種具有優異光電性能和壓電性能的多功能晶體。
它既適合制作高效率藍色、紫外發光和探測器等光電器件,還可用于制造氣敏器件、表面聲波器件、透明大功率電子器件、發光顯示和太陽能電池的窗口材料以及變阻器、壓電轉換器等。相對于GaN,ZnO制造LED、LD更具優勢,具預計,ZnO基LED和LD的亮度將是GaN基LED和LD的10倍,而價格和能耗則只有后者的1/10。

ZnO材料以其優越的特性被廣泛應用,受到各國極大關注。

五、結語

寬禁帶半導體材料作為一類新型材料,具有獨特的電、光、聲等特性,其制備的器件具有優異的性能,在眾多方面具有廣闊的應用前景。它能夠提高功率器件工作溫度極限,使其在更惡劣的環境下工作;能夠提高器件的功率和效率,提高裝備性能;能夠拓寬發光光譜,實現全彩顯示。隨著寬禁帶技術的進步,材料工藝與器件工藝的逐步成熟,其重要性將逐漸顯現,在高端領域將逐步取代第一代、第二代半導體材料,成為電子信息產業的主宰。