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丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),也叫丙二醇單甲醚乙酸酯,分子式為C6H12O3,無色吸濕液體,有特殊氣味,是一種具有多官能團的非公害溶劑。主要用于油墨、油漆、墨水、紡織染料、紡織油劑的溶劑,也可用于液晶顯示器生產中的清洗劑。易燃,高于42°C時可能形成爆炸性蒸汽/空氣混合物。PGMEA溶劑是一種典型的用于溶解光敏聚合物的溶劑(major solvent),其含有的任何金屬離子都會潛在的影響光刻制程,從而擴散到功能性元器件中,降低其性能,良率或者使用壽命。
PGMEA (丙二醇甲醚醋酸酯)溶劑作為性能優良的低毒高級工業溶劑,對極性和非極性的物質均有很強的溶解能力,在電子行業,尤其是在LCD面板的制作過程中,需要用到PGMEA溶劑作為清洗劑,用于光刻膠噴射噴嘴及涂膠容器等的清洗,產生的廢溶劑中通常含有重金屬、廢元器件、顆粒雜質等固體雜質及高沸膠狀物和油污等雜質,但PGMEA廢液中的有用成分多,且溶劑價格貴,從經濟和環保方面考慮,將有用成分再生具有巨大的經濟價值和社會價值。
本發明公開了一種從PGMEA廢液中提純PGMEA的方法,PGMEA廢液主要含有PGME(丙二醇甲醚)、酮類化合物、苯類化合物、乙氧基酯類化合物、甲氧基酯類化合物、水、固體電阻、電子元器件等雜質,廢液成分及含量變化范圍廣,本發明針對電子行業產生的PGMEA廢液,對收集來的廢溶劑初步過濾后,進入原料沉降釜去除可沉降的固體雜質,沉降后上清液進入帶有真空泵的蒸餾塔,去除難以處理的低沸點及高沸點雜質,蒸餾塔產生的目標產品粗產品進入精餾塔進一步精餾,得到純度大于95%的目標產品,最高純度可達到99%。處理設備主要包括過濾器、沉降釜、蒸餾塔、精餾塔。